ジルコニアセラミックス基板
抗折強度性に優れたセラミックス高信頼性基板
ジルコニア(ZrO2)は耐蝕性・耐熱性に優れ、アルミナ(Al2O3)に比べ、特に破壊靭性や曲げ強度の面で優れています。 高精度な寸法加工が必要な光通信用コネクター部やセラミックス刃物、粉砕ボールメディア等の主材料として使用されており、その他酸化物イオン導電体である安定化ジルコニアは排ガス中の酸素濃度検出用として酸素ガスセンサーにも応用されています。 ジルコニア基板はその破壊靭性の強さを活かし、電子部品の軽薄短小化の課題を克服するツールとして極薄基板の用途にも展開が期待されます。 |
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◆特長 ・耐熱性に優れている ・耐蝕性に優れている ・破壊靭性が高い ・高強度が得られる ・表面平滑性に優れている ・耐摩耗性に優れている ◆用途 ・機械部品 ・セラミックス刃物 ・光通信用コネクター部品 ・酸素ガスセンサー ・電子部品向け薄板各種用途 |
ジルコニアの標準特性(※表記は保証値ではございません)
材料項目名 | 酸化イットリウム安定化ジルコニア | 単位 | |
品番 | KZ3(部分安定化) | KZ0134(完全安定化、開発中) | |
主成分純度 | ZrO2:93% Y2O3:6% | ZrO2:85% Y2O3:13% | % |
吸水率 | 0.01以下 | 0.01以下 | % |
見掛比重 | 6±0.1 | 5.8±0.1 | g/cm3 |
表面粗さ | Ra≦0.2 | Ra≦0.2 | μm |
硬度(ビッカース) | 未測定 | 未測定 | GPa |
線膨脹係数(40〜400℃) | 未測定 | 未測定 | 10-6/℃ |
熱伝導率 | 未測定 | 未測定 | W/(m・K) |
曲げ(抗折)強度 | 980以上 | 未測定 | MPa |
絶縁破壊電圧 | 10以上 | 15以上 | KV/mm |
体積固有抵抗 | 1012以上 | 1012以上 | Ω・cm |
誘電率 | 30 | 25 | (1MHz) |
誘電正接(1MHz) | 0.0025付近 | 0.0045付近 | (1MHz) |
誘電損失 | 未測定 | 未測定 | (1MHz) |